Durch die Teilnahme am Praktikum „Ausgewählte Kapitel der Mikro- und Nanoelektronik“ erlernen die Studierenden, dass es neben der Raster-Elektronen-Mikroskopie, eine Vielzahl von Verfahren der Raster-Sonden-Mikroskopie gibt, mit denen Material- und Strukturparameter von mikro- und nanotechnologischen Systemen analysiert werden können. Das Ziel ist die Erlernung der Funktionsweisen unterschiedlicher SPM-Messmodi sowie die Befähigung zum praktischen Umgang mit Raster-Sonden-Mikroskopen. Die Praktikumsversuche vertiefen die theoretischen Grundkenntnisse von Mikro- und Nanosystemen und gewähren Einblicke in die Anwendung höchstauflösender SPM-Analysemethoden.