Neue Materialien für die Sensorik
Die Entwicklung neuer, aber auch in harschen Umgebungen zuverlässigerer Sensoren bedingt oftmals den Einsatz neuartiger maßgeschneiderter Materialien, wie z.B. funktionelle Sensorschichten aus 2D-Materialien oder widerstandsfähige Schutzschichten. Für Forschungs- und Entwicklungsprojekte stehen hier Anlagen zur Abscheidung und Bearbeitung verschiedenster Materialien zur Verfügung. Unter anderem sind eine Pulsed Laser Deposition-Anlage (PLD), eine Sputterabscheideanlage (PVD) und verschiedene Plasmaabscheideanlagen installiert. Komplettiert wird die Ausstattung durch einen umfangreichen Analytikpark für die Charakterisierung dieser Materialien als auch zur Aufklärung von zuverlässigkeitsrelevanten Schadmechanismen. Unter anderem stehen ein Rasterelektronenmikroskop (REM/EDX), ein Röntgenphotoelektronenspektrometer (XPS), ein Raman-Spektrometer, ein Laserscanningmikroskop (LSM) sowie etliche weitere analytische Methoden zur Verfügung.
Rasterelektronenmikroskop/Röntgenfluoreszenzanalyse (REM/EDX) – Thermo Scientific Phenom XL
Laserscanning-Mikroskop – Olympus OLS 4100
Röntgenphotoelektronenspektrometer (XPS/REELS) – Thermo Scientific NEXSA
Glovebox - MBraun EasyLab
Konfokales Ramanmikroskop – WITec Alpha300 R
Optisches Spektrometer (UV/Vis/NIR) – Shimadzu UV-2600
Kontaktwinkelmessgerät – Krüss DSA25
Haftfestigkeitsmessgerät – Elcometer 510
4-Punkt Schichtwiderstandsmessgerät – Nagy SD-600 / Jandel HM21